在線式等離子清洗機產品介紹：
目前, 等離子清洗設備主要有批量式及在線式兩種。在線式等離子清洗機采用自動的清洗方式, 適用于大規模的生產線, 節省人工, 降低勞動力成本, 大大縮短了整個工藝流程的時間, 使清洗效率獲得極大的提高, 優勢最為明顯。
這些優點主要與在線式等離子清洗機的工藝及設備腔體結構有關, 高自動化的在線式等離子清洗屬于非遮擋式清洗, 無人為的二次污染及靜電損傷, 被清洗工件自動放置在腔底的陶瓷懸浮極上, 各個位置等離子體條件均勻一致, 短短的時間內就能夠達到要求的清洗效果。由于清洗時間短, 腔體內部溫升小, 所以無濺射及過熱損傷,。
在線式等離子清洗機清洗原理：
等離子清洗分為化學清洗、物理清洗及物理化學清洗。針對不同的清洗對象可選擇O2、H2和Ar等工藝氣體進行短暫的表面處理。
1.1 化學反應為主的清洗
利用等離子體里的高活性自由基與材料表面的有機物等做化學反應, 又稱PE。采用氧氣進行清洗, 使非揮發性的有機物變成易揮發的形態, 產生二氧化碳、一氧化碳和水。化學清洗的優點是清潔速度高、選擇性好和對清洗有機污染物比較有效, 主要缺點是生成的氧化物可能在材料表面再次形成。在引線鍵合工藝中, 氧化物是最不希望有的, 這些缺點可以通過適當選擇工藝參數進行避免。
1.2 物理反應為主的清洗
利用等離子體里的離子做純物理的撞擊, 把材料表面附著的原子打掉, 也稱為濺射腐蝕 (SPE) 。采用氬氣進行清洗, 氬離子以足夠的能量轟擊器件表面, 撞擊力足以去除任何污垢。聚合物中的大分子化學鍵分離成小分子而汽化, 通過真空泵排出。同時經過氬等離子清洗后, 能夠改變材料表面的微觀形態, 使材料在分子級范圍內變得更加“粗糙”, 可大幅改善表面活性, 提高表面的粘結性能。氬等離子的優點是清理材料表面不會留下任何氧化物。缺點是可能發生過量腐蝕或污染物顆粒重新積聚在其他不希望的區域, 但是這些缺點可通過細調工藝參數得到控制。
1.3 物理化學反應同時存在的清洗
反應中物理反應與化學反應均起重要作用的清洗。
如采用Ar和O2的混合氣體進行在線式等離子清洗過程時, 反應速率比單獨使用Ar或O2都要快。氬離子被加速后, 產生的動能又能提高氧離子的反應能力, 因此用物理化學方法可清除污染較為嚴重的材料表面。
隨著微電子封裝向小型化方向發展, 表面清洗的要求越來越高, 在線式等離子清洗的諸多優點, 將使它成為表面清洗工藝最好的選擇方案之一, 作為最有發展潛力的清洗方式, 將被應用于越來越多的領域。同時, 在線式等離子清洗機非常有利于環境保護, 清洗后不會產生有害污染物, 這在全球高度關注環保意識的情況下越發顯示出它的重要性。
